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电子枪电子枪是用来产生受控的电子束原装哈默纳科电子束工作台谐波减速机CSF-58-50-2UH,并完成电子束的预聚焦和强度控制的装置。
C2)抽真空系统为了保证电子的高速运动,必须将真空室抽至1.3x10-2-1.3x10-4Pa的高真空度,否则无法避免电子原装哈默纳科电子束工作台谐波减速机CSF-58-50-2UH与气体分子的碰撞,影响电子的高速运动。除此之外,抽真空后可消除加工时由于金属蒸汽的影响使电子发射不稳定,抽真空后还可减小被加工表面的污染。
}3)电子束控制系统电子束控制系统包括束流强度控制、束流聚焦控制及束流位置控制。束流强度控制是通过改变加在阴极上的负高压〔50一150kV以上的负高压)来实现的。为了避免加工时热量扩散至工件的不加工部位,常使用间歇性的电子束。所以加速电压应是脉冲电压。束流聚焦原装哈默纳科电子束工作台谐波减速机CSF-58-50-2UH控制是通过“电磁透镜”的磁场作用,使电子束流压缩成截面直径很小的束流,以达到提高电子束的能量密度。有时为了获得更细小的焦点,须进行二次聚焦。束流位置的控制是用磁偏转控制电子束焦点位置的方法实现的,具体方法是通过一定程序改变偏转电压或电流,使电子束按某种规律运动。
C4)工作台系统电子束的偏转〔移动)只能在几原装哈默纳科电子束工作台谐波减速机CSF-58-50-2UH毫米范围之内调控,移动过大将会降低工件的加工精度,因此需用伺服电机控制工作台作纵横两个方向运动来获得工件的更大移动范围。